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對(duì)10μm以上粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)的落塵計(jì)數(shù)器DTSP10-03介紹

發(fā)布時(shí)間:2024-05-04 點(diǎn)擊量:736

對(duì)10μm以上粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)的落塵計(jì)數(shù)器DTSP10-03介紹

一種特殊的測(cè)量裝置,可以測(cè)量落塵而不是浮塵。對(duì)10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)。

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*這是與“粗顆粒計(jì)數(shù)器"不同的測(cè)量裝置。

您有這些問題嗎?


  • 即使在無塵室中工作,異物的量也沒有減少。

  • 盡管它是使用粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行管理的,但不可能將其與缺陷關(guān)聯(lián)起來。

  • 我想創(chuàng)造一個(gè)干凈的環(huán)境,但不知道如何管理。

  • 我們很難處理從衣服等引入的異物。

通過測(cè)量落下的灰塵而不是漂浮的灰塵,可以采取針對(duì)附著異物的對(duì)策!

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量,則應(yīng)使用落塵計(jì)數(shù)器而不是顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)量。

原因是:

① 導(dǎo)致附著異物的粗顆粒較大,范圍為 10 μm 至 100 μm,無法用顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量。

② 大顆粒不會(huì)漂浮在空氣中,而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個(gè)。

因此,通過測(cè)量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵,可以管理附著的異物。

什么是落塵計(jì)數(shù)器?


這是一種特殊的測(cè)量裝置,可以測(cè)量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板(4英寸硅片),利用粗顆粒的沉降特性,對(duì)下落的10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進(jìn)行評(píng)估。

*硅晶片:圓盤狀樣品板,是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導(dǎo)體基板。

本機(jī)是專門利用硅片樣品對(duì)10μm至100μm粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)的測(cè)量設(shè)備。

對(duì)于頭發(fā)等100μm以上的異物,由于其形狀和重量,不適合使用硅片作為樣品。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調(diào)查較大的異物。

落塵計(jì)數(shù)器詳細(xì)資料



DTSP10-03
最小可測(cè)量粒徑10μm

粒度分級(jí)10μm、30μm、50μm、100μm
可在11~99μm范圍內(nèi)任意設(shè)定值*3)
兼容晶圓尺寸4英寸2英寸*4)
最大測(cè)量面積φ80mmφ30mm
修剪功能是的沒有任何
顯示切換有(可單獨(dú)顯示)

*3) 任意分類設(shè)定的閾值是從校準(zhǔn)曲線中獲得的值,無法保證計(jì)數(shù)效率。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計(jì)數(shù)效率,對(duì)于 2 英寸區(qū)域無法保證計(jì)數(shù)效率,計(jì)數(shù)效率受到限制。



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