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露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2023-12-17 點(diǎn)擊量:731

露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用


測(cè)量氣體中的水蒸氣露點(diǎn)溫度的儀器叫做露點(diǎn)儀。露點(diǎn)儀因所使用的冷卻方法和檢測(cè)控制方法不同,可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動(dòng)檢測(cè)露層的平衡式精密露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。

露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測(cè)作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在凈化間內(nèi)進(jìn)行的。凈化間規(guī)范往往包括相對(duì)濕度(RH)這一項(xiàng),一年內(nèi)控制點(diǎn)的范圍從35%到65%,精度2%(70℃以下)濕度超標(biāo)會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計(jì)劃的完成。

在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū),濕度不穩(wěn)定,會(huì)出現(xiàn)很多問題。最典型的問題是烘干期延長(zhǎng),整個(gè)處理過程變得難以控制。當(dāng)相對(duì)濕度高于35%時(shí),元件易被腐蝕。此外,將顯影液噴在芯片表面時(shí),顯影液迅速揮發(fā),使芯片表面溫度下降,致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會(huì)影響顯影特性,還會(huì)吸收到半導(dǎo)體內(nèi),這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷,還必須增加一些不必要的工藝控制。

TK-100在線露點(diǎn)儀

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過去 40 年來,Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測(cè)量設(shè)備(主要是露點(diǎn)計(jì))。電容式(阻抗式)露點(diǎn)儀TK-100系列是Techne測(cè)量有限公司的主打產(chǎn)品,用于測(cè)量露點(diǎn)或水分含量。
TK-100在線露點(diǎn)儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的一套,因此您可以輕松開始測(cè)量露點(diǎn)。


特征

  • 國(guó)內(nèi)開發(fā)、國(guó)內(nèi)制造、國(guó)內(nèi)校準(zhǔn)

  • 露點(diǎn)測(cè)量范圍-100至+20℃dp

  • 精度±2℃dp

  • 高響應(yīng)速度

  • 有競(jìng)爭(zhēng)力的定價(jià)體系

  • 交貨快捷

  • 完善的支持體系

  • 可追溯至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

主要用途

  • 手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制

  • 干燥機(jī)露點(diǎn)檢查

  • 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

  • 潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理

  • 氣體純度控制

  • 天然氣水分管理

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • 有機(jī)EL制造


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