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F20膜厚測量系統(tǒng)的特點

發(fā)布時間:2023-10-30 點擊量:761

F20膜厚測量系統(tǒng)的特點

這是一種行業(yè)標準、低成本、多功能桌面薄膜厚度測量系統(tǒng),在全球安裝了 5,000 多個裝置。它可用于廣泛的應(yīng)用,從研究和開發(fā)到制造現(xiàn)場的在線測量。
F20基于光學(xué)干涉法,可以在約1秒內(nèi)輕松測量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點在線測量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此也可以從PLC或主機進行控制。

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主要特點

  • 兼容多種薄膜厚度(1nm 至 250μm)

  • 兼容寬波長范圍(190nm至1700nm)

  • 強大的膜厚分析

  • 光學(xué)常數(shù)分析(折射率/消光系數(shù))

  • 緊湊型外殼

  • 支持在線測量

主要用途

平板單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR膜、
各種光學(xué)膜等
半導(dǎo)體抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
光學(xué)鍍膜防反射膜、硬涂層等
薄膜太陽能電池CdTe、CIGS、非晶硅等

砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等
醫(yī)療保健鈍化、藥物涂層等

產(chǎn)品陣容

模型F20-UVF20F20-HRF20-近紅外F20-EXRF20-UVX
測量波長范圍190 – 1100nm380 – 1050納米440 – 1000nm950 – 1700nm380 – 1700nm190 – 1700nm
膜厚測量范圍1nm – 40μm15納米 – 70微米50納米 – 180微米100nm – 250μm15納米 – 250微米1nm – 250μm
準確性*膜厚的±0.2%膜厚的±0.4%膜厚的±0.2%
±1nm±2nm±3nm±2nm±1nm
測量光斑直徑1.5mm 或 0.5mm(
最小 0.1mm)可供選擇(可選)
光源

氘·

鹵素

鹵素

氘·

鹵素

*測量 Filmetrics 提供的 Si 基板上的 SiO2 薄膜時設(shè)備本身的精度。

測量示例

可以測量從半導(dǎo)體等精密加工品到玻璃、汽車零部件等各種樣品的膜厚。

 

多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

玻璃硬質(zhì)鍍膜膜厚分析



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