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cemco產(chǎn)品在半導體/液晶行業(yè)的介紹實例

發(fā)布時間:2023-01-06 點擊量:1171

cemco產(chǎn)品在半導體/液晶行業(yè)的介紹實例

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咨詢內(nèi)容

我想消除攪拌 CMP 漿液時因夾氣引起的質(zhì)量變化。

半導體工廠總是使用攪拌器來防止CMP漿液分離。然而,當化學浴中的液位變低時,攪拌器的轉(zhuǎn)速對于被攪拌的液體來說變得過強,導致空氣夾帶,從而導致質(zhì)量變化和產(chǎn)品缺陷的問題正在發(fā)生。

質(zhì)量變化和產(chǎn)品缺陷會造成相當大的損失,如果能夠預防,則可以大大提高缺陷率。 

建議

一種TCMD型攪拌器,根據(jù)CMP漿液液位實現(xiàn)攪拌器轉(zhuǎn)速控制。

液位計或稱重傳感器可用作測量液體體積的方法。
來自液位計、稱重傳感器等的外部信號(4 至 20mA 或 1 至 5V)可用于控制轉(zhuǎn)數(shù),防止化學罐中的質(zhì)量變化和夾帶空氣。

 

使用電平表的應用示例
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采用直流無刷電機,轉(zhuǎn)速可由外部信號控制。



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